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以前稱這類潔凈室為"層流"潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個(gè)方向流動(dòng)(或是垂直的或是水平的)，對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。
靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作;靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照相肢片等感光破壞; 隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s。
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是折疊編輯本段作用控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，壓力差的維持依靠新風(fēng)量。
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