當(dāng)前標(biāo)簽:實(shí)驗(yàn)臺柜價(jià)格
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大連實(shí)驗(yàn)臺柜凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。凈化工程俗稱無塵車間、凈化車間、潔凈室等。其主要原理是排除一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒。有害空氣和細(xì)菌等污染物,并將室內(nèi)
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大連實(shí)驗(yàn)臺柜以前稱這類潔凈室為"層流"潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個(gè)方向流動(或是垂直的或是水平的),對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)
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由于大連實(shí)驗(yàn)臺柜加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹。所以