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10級(jí)：十級(jí)的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。1000級(jí)：千級(jí)的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn)：生產(chǎn)工藝單一，各室獨(dú)立，適用于改造工程，潔凈車間位置分散，潔凈
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大連實(shí)驗(yàn)室家具無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因
